【摘 要】
:
准分子激光作为当前光刻装置的主要光源,要求其输出激光光束强度分布尽量均匀.为了改善其光束强度分布的均匀性,介绍了一种新型梯形棱镜式准分子激光光束均匀器.从理论上分析
论文部分内容阅读
准分子激光作为当前光刻装置的主要光源,要求其输出激光光束强度分布尽量均匀.为了改善其光束强度分布的均匀性,介绍了一种新型梯形棱镜式准分子激光光束均匀器.从理论上分析了其工作原理及设计加工要求,计算了最佳均匀截面位置,并与普通棱镜均匀器进行了比较.实验中根据经梯形棱镜折射后光束能量在中间较强光束的本底基础上进行三分互补叠加的原理,实现了其与普通棱镜均匀器在二维方向上的组合使用;通过调节均匀器与接收屏之间的距离并同时记录每一位置处光束光斑的能量分布改善情况,确定了最佳均匀截面位置并与理论计算相吻合.利用其改善准分子激光器输出光束强度的分布,起伏优于4%,其均匀效果优于普通棱镜均匀器.
其他文献
巴赫金的狂欢化理论在今天已经成为研究大众文化的基础理论之一.本文将根据这一理论的视角,审视和阐思当今社会中广泛流行的大众文化--"选秀"现象.
目的:探讨卒中单元综合康复治疗急性脑卒中后吞咽困难的疗效.
方法:卒中单元158例脑卒中后乔咽困难患者为康复治疗组,普通神经内科46例脑卒中后吞咽困难患者为对照组,康复
《诗经》是中国第一本诗歌总集,《诗经·关雎》向来被列为"国风"之始,对其主题向来有不同的说法,本文主要从分析入手探讨《诗经·关雎》的主题.
通过对当代高校青年的戏剧接受情况进行问卷调查,可以发现:青年对影视的关注度是戏剧的2-3倍;17%的青年对戏剧走进校园持有十分热情的态度;半数以上的青年对中国戏剧的发展持
钢琴即兴伴奏不同于钢琴独奏,它的应用非常广泛,有其自身的独特规律,要求弹奏者必须经过专门的训练和具备相关的技能。本文是笔者多年从事钢琴伴奏有关工作的心得体会,有个人
目的 探讨先天性胆管扩张症的影像学诊断价值.方法收集6例先天性胆总管扩张症的临床及影像学(CT和超声)资料,结合文献加以回顾性分析.结果 按照Todani氏胆管扩张症的分型,Ⅰ
目的 研究喉癌组织中细胞黏附分子E-cadherin(ECD)和尿激酶型纤溶酶原激活剂(urokinase-type plasminogen activator,uPA)的表达及其在喉癌患者临床预后评估中的价值.方法 采
解放军第二军医大学附属长海医院2005-10/2007-10治疗21例胫骨平台骨折患者,其中SchatzkerⅡ型12例,SchatzkerⅢ型5例,SchatzkerⅣ型2例,SchatzkerⅤ型1例,Schatzker Ⅵ型1例
目的 应用表面增强激光解析离子化-飞行时间-质谱(SELDI-TOF-MS)技术获得区分非小细胞肺癌患者淋巴结转移的诊断模型及血清特异性蛋白.方法 应用弱阳离子蛋白芯片CM10及SELDI
目的:量化分析英文摘要写作常见错误,帮助作者和编辑防止和杜绝此类错误的再次发生.方法:通过量化分析手段,统计我院学报作者初投稿和其他刊物正式发表文献英文摘要写作错误,