ULSI相移光刻技术*

来源 :电子学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:songchanglei
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
相移掩模光刻技术,是近几年来为了开发超大规模集成电路(ULSI)而发展起来的一种新颖光刻技术。它应用了光学相移掩模方法,大大提高了现有光学光刻设备的分辨率水平。本文综述了相移光刻技术的发展及其在ULSI中的应用。
其他文献
本文将相移光纤布拉格光栅近似为一维光子晶体,利用光子晶体理论研究其能带结构和光学传输特性.指出了光栅的反射峰和光子禁带,反射峰中的高透射曲线部分和缺陷模之间的对应
根据电子装备试验的特点,本文提出试验方案的组成是一个树状结构,从而把总体试验方案的优选分解为每个子方案或孙方案的优选问题.建立了方案的灰色效果测度优选模型和灰关联
为了提高嵌入式多媒体应用的运行速度并降低功耗,本文提出一种高效利用片上存储器的方法.将数据矩阵划分成合理大小的子块,分阶段地将数据子块转移到片上,并尽可能重复利用已
本文介绍了一种研究电弧风洞等离子体密度变化的微波探针测量系统,并给出了电弧风尚以场等离子体的形成过程,热电离材料的实验结果表明电弧风洞对于寻代磁流体发电的高电离材料
基于X.Chen等人关于Justesen代数几何码的译码定理,给出了用Grobner基译Justesen椭圆曲线码的种方法,使用该方法,在即使还不知道真正最小距离的情况下,也能译码达到真正的最小距离。
本文提出一种新型横向绝缘栅双极晶体管/横向扩散MOS混合晶体管(LIGBT/LDMOS),在有非平衡电子抽出下截止瞬态响应的电荷控制模型。由考虑非准静态效应的积分式连续性方程,导出双载流子动态电荷控
本文首先应用散射迭加法,给出了含源任意分层手征介质球域中的并矢格林函数,以手征介质球壳为例,分析了位于球中心处点偶极天线的辐射特性,以及归一化辐射阻抗随球壳厚度的变化规
设立宗旨亚太地区作为世界上最具有活力的经济区域在国际社会中所处的地位不断提高。亚太国家间经济上的联系不断加强,但在生活方式、传统、宗教、风俗习惯等方面,对于相互间文化和价值观念在广义上的理解则并不充分。在全球化进程中,为谋求共同发展亚太国家相互之间应...
本文提出了一种用基因算法来进行模糊联想记忆系统设计的方法-基因FAM法。同自适应模糊联想记忆和神经网络设计方法相比,该方法不要求有训练样本;而且可以设计出的FAM系统最后,举例说明
本文讨论了一种幅度满足双瑞利分布,其二维谱和特征值谱给定的时空二维杂波的模拟方法,它对机载相控阵雷达系统的设计和性能分析是极有意义的。文中详细探讨了二维杂波模拟遇到