切换导航
文档转换
企业服务
Action
Another action
Something else here
Separated link
One more separated link
vip购买
不 限
期刊论文
硕博论文
会议论文
报 纸
英文论文
全文
主题
作者
摘要
关键词
搜索
您的位置
首页
期刊论文
边缘相移掩模技术
边缘相移掩模技术
来源 :光电工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:mugua220
【摘 要】
:
论述了边缘相移掩模的原理、制作方法和工艺步骤,并给出了一些实验结果。
【作 者】
:
陈宝钦
【机 构】
:
中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室,中国科学院微电子中心
【出 处】
:
光电工程
【发表日期】
:
1997年S1期
【关键词】
:
光刻
相移掩模
边缘增强
下载到本地 , 更方便阅读
下载此文
赞助VIP
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
论述了边缘相移掩模的原理、制作方法和工艺步骤,并给出了一些实验结果。
其他文献
安全、绿色、低碳发展打造森林中的钢铁民企——记山西建邦集团有限公司董事长吴晓年
山西建邦集团(以下简称建邦集团)成立于1988年,中国钢铁协会会员、中国铸造协会理事、中国民营企业500强、中国制造企业500强、中国对外贸易民营企业500强,是一家集进出口贸易、
期刊
山西
钢铁
中国铸造协会
董事长
安全
森林
低碳
民营企业
利率渐显稳定迹象 回落可期——银行间利率市场回顾与展望
债券市场经过了2010年“黑色十月”的冲击后,在11月份整体维持弱势格局,但是初步显现出企稳的迹象。在系列政策措施出台后,市场的聚焦点依然在于后期通货膨胀走势上,前期过于
期刊
CPI
法定存款准备金率
信用利差
市场回顾
绿色生产 低碳发展——记青岛雪达集团有限公司
青岛雪达集团有限公司(以下简称“集团”)是一家集针织面料研发制造和成衣研发生产于一体的专业化针织服装企业,企业近40年来一直专业从事针织服装及面料的研发生产工作,是同行业
期刊
绿色生产
青岛市
针织服装企业
中国纺织工业协会
低碳
针织面料
科技进步奖
生产工作
表达谱芯片与DNA甲基化芯片综合分析探索鼻咽癌发生、发展的分子靶标
目的综合分析表达谱芯片与DNA甲基化芯片,探索鼻咽癌发生、发展的分子靶标与潜在治疗靶点。方法在GEO公共数据库下载编号为GSE64634的表达谱芯片数据以及编号为GSE52068的DNA
期刊
基因芯片
DNA甲基化芯片
鼻咽癌
浅谈草原鼠害的主要防治方法
草原生态系统中,鼠害占据着极为重要的作用。草原鼠类在物质循环以及食物链中都占据着极为重要的作用。草原鼠害的数量如果能够控制在一定的范围内,鼠害啃食草原对整个生态系
期刊
草原
鼠害
防治方法
关于常州地方曲艺传承与保护的思考——从常州道情说起
常州曲艺有许多自己独特的形式,文章以常州道情为切入点,分析了常州道情的缘起及其生存现状,阐述了常州道情的艺术特点,探讨了常州地方曲艺传承与保护的问题,提出了保护和传
期刊
常州地方曲艺
传承与保护
常州道情
研究机构称LTE用户数4年即可连到1亿
据国外媒体报道,电信调研机构Pyramid Research发布最新报告显示,在2010年至2014年间.LTE(3GPP长期演进)的用户数量将以404%的年复合增长率增长,该速度比先前包括3G在内的任何移动标
期刊
用户数量
研究机构
LTE
增长率
速度比
电信
演进
节能减排的政策和制度创新——政府目标责任制特点分析
节能减排是我闻现阶段能源与环境安全的核心政策,政府目标责任制是保障节能减排政策实施的重要保障。本文分析了节能目标责任制的主导性、法律性、创新性、激励性、矛盾性等特
期刊
节能减排
制度创新
目标责任制
基于ZigBee无线传感器网络的远程医疗监控系统研究
ue*M#’#dkB4##8#”专利申请号:00109“7公开号:1278062申请日:00.06.23公开日:00.12.27申请人地址:(100084川C京市海淀区清华园申请人:清华大学发明人:隋森芳文摘:本发明属于生物技
学位
ZigBee
无线传感器网络
节点
上位机
远程监控
晚明江南祁彪佳家族的日常生活史——以医病关系为例的探讨
<正>一、前言明代的医学知识在印刷术的普及与医者数量的快速增长下有重要的发展,这在江南地区尤为明显,这些地方的医学发展模式与人口增长、都市精英的经济能力的强化有密切
会议
与本文相关的学术论文