【摘 要】
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为克服I^2形MEMS谐振器输入端（热执行）与输出端（压阻敏感）直接耦合所造成的输出信号品质较差的缺点，设计并制作了一种电阻差分检测电路。该电路通过外接电阻的方法，产生与输出信号
【基金项目】
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项目来源：国家青年自然科学基金项目（61404121）
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为克服I^2形MEMS谐振器输入端（热执行）与输出端（压阻敏感）直接耦合所造成的输出信号品质较差的缺点，设计并制作了一种电阻差分检测电路。该电路通过外接电阻的方法，产生与输出信号中耦合成分幅值相同、相位相反的差分信号。将差分信号与谐振器输出信号相组合，从而实现解耦的目的。实验结果表明，电阻差分检测可有效消除了输出信号中的耦合成分，使频谱响应曲线得到更直观的体现。与其他消除耦合信号的技术方案相比（混频检测电路、惰性谐振器等），电阻差分检测法电路设计简单，无需改动器件的加工工艺，有利于满足未来器件小型化要求。
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