论文部分内容阅读
作为新世纪一项最伟大的技术,硅微电子机械系统(MEMS)技术最终证明了其多用性已超乎了大多数人的想象,超出了在多元化市场发挥各种作用的简单的传感器。无论是现有的还是开发中的MEMS器件都瞄准了电信、汽车、计算机外设和消费品市场的各种新兴应用。在很多场合,它们不仅会取代非MEMS元件,促进新产品的开发,而且还会与微电子芯片珠联璧合,创建出新的"智能"子系统。