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涡轮分子泵的压缩比和泄漏
涡轮分子泵的压缩比和泄漏
来源 :四川真空 | 被引量 : 0次 | 上传用户:milo_pine
【摘 要】
:
涡轮分子泵中存在着通过分子泵各级的泄漏现象,影响了分子泵实际的压缩比。如果在计算压缩比时不考虑这个影响,那么实际测得的压缩比大多远小于计算所得。对于从高压强级到低压
【作 者】
:
Casaro
F
王兰
【出 处】
:
四川真空
【发表日期】
:
1996年1期
【关键词】
:
涡轮分子泵
分子真空泵
压缩比
泄漏
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涡轮分子泵中存在着通过分子泵各级的泄漏现象,影响了分子泵实际的压缩比。如果在计算压缩比时不考虑这个影响,那么实际测得的压缩比大多远小于计算所得。对于从高压强级到低压强级的泄漏所产生的影响,本文作了一个理论估算。提出了一个简单模型亚计算泄漏引起的压缩比的降低。
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