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本文提出一种图形剖分算法，可将任意条折线围成的平面区域，划分为一个互相不交的子域的集合。这种子域是ＬＳＩ掩模版加工设备可加工的。由此，ＬＳＩ掩模版图的设计，可避免受到加工设备的限制，使图样不论如何复杂，可以根据电路需要进行设计，从而保证电路性能。
一种平面区域的剖分
【摘 要】
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本文提出一种图形剖分算法，可将任意条折线围成的平面区域，划分为一个互相不交的子域的集合。这种子域是ＬＳＩ掩模版加工设备可加工的。由此，ＬＳＩ掩模版图的设计，可避免受到加工设备的限制
【机 构】
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山东工业大学自动化工程系
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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1994年2期
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