论文部分内容阅读
投影光刻技术的计算机模拟分为三部分，空间像强度分布计算，曝光计算和显影计算，本文分别讨论了各部分数学模型的建立，计算方法及特点，并给出了一些研究结果。
投影光刻技术的计算机模拟研究
【摘 要】
：
投影光刻技术的计算机模拟分为三部分，空间像强度分布计算，曝光计算和显影计算，本文分别讨论了各部分数学模型的建立，计算方法及特点，并给出了一些研究结果。
【机 构】
：
中国科学院光电技术研究所
【出 处】
：
微细加工技术
【发表日期】
：
1996年4期
其他文献
分析了ＳＤＳ－２多功能电子束扫描系统输出温度漂移的主要因素，经过理论分析提出了一种减少温度漂移的有效方法，实验表明此方法有很好的温度漂移的自动补偿。
智能化衬底技术既是集成微系统的载体，也是微系统集成的手段。采用真空盒吸片技术开发了一种实用的智能化衬底技术工艺方法。真空盒吸片技术解决了芯片的初始定位（对淮装片）及芯
采用锁相技术，对电子束曝光机工件台运动实现速度环的全数字控制。设计了数字差频积分回路和数字差频比例控制器，能有效消除速度的静态误差和改善系统的动态特性。
对目前采用的塑料管沿程水头损失计算公式进行了试验研究和修正，提出了交联聚乙烯（PE－X）管，三型聚丙烯（PP－R）管和铝塑复合（PAR）管的沿程水头损失计算公式。
喷气式Ｚ箍缩等离子体装置产生的软Ｘ射线，波长大约在０．２￣０．６ｎｍ之间，一次放电产生的软Ｘ射线能量约５０Ｊ。本文利用此软Ｘ射线源，用金属丝网作为掩模，对ＣＳＭ光刻胶进行了曝光的初步实验研究，得到了较为清晰的
介绍了一种新近产生的被称为自由空间微光学地（ＦＳ－ＭＯＢ）的三维空间集成光学系统。并提出了一种用二氧化硅（ＳｉＯ２）作光学材料、光刻胶和溅射铜（Ｃｕ）薄膜作牺牲层层、电镀铁镍作支撑结构的制作自由空
本文详细介绍了新一代用于聚焦离子束的图形产生和自动套准系统。该系统设计的是充分考虑计算机运算速度极大的提高，使得原来必须靠硬件实现的功能，完全可以由软件来实现，而并不
介绍了天津市咸阳路污水处理厂工程设计的情况。涉及污水处理工艺和污泥处理方案的优化选择过程，以及工程设计中具体措施的技术要点。