【摘 要】
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已经研制了具有电视质量标准的红外图像传感器,该传感器可在3~5μm红外波段区热成像,陈列尺寸为外512×512像素,器件采用PtSi肖特基势垒光电探测器。为了获得大的占空系数
【机 构】
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机电部永川光电技术研究所,机电部哈尔滨电子敏感技术研究所
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已经研制了具有电视质量标准的红外图像传感器,该传感器可在3~5μm红外波段区热成像,陈列尺寸为外512×512像素,器件采用PtSi肖特基势垒光电探测器。为了获得大的占空系数,应用了电荷扫描器件(CSD)结构。该像素由两层多晶硅和两层铝构成,并具有最小设计基准为2μm。像素尺寸和占空系数分别为26×20μm~2和30%。采用金属薄膜和光腔结构改善了器件的灵敏度,势垒高度为0.22eV时,相应的截止波长约为5.6μm。器件以标准电视帧频工作。借助于微粒噪声探测器,在300K时该器件噪声被
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