【摘 要】
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为了保证激光追踪测量系统的平稳、快速、实时性测量等要求,研制了激光追踪测量电气控制系统。利用四象限光电传感器(quadrant photo-detector,QPD)对激光束光斑偏移量进行实
【机 构】
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北京工业大学北京市精密测控技术与仪器工程技术研究中心
【基金项目】
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北京市自然科学基金(3182005);国家重大科学仪器设备开发专项(2013YQ17053904)
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为了保证激光追踪测量系统的平稳、快速、实时性测量等要求,研制了激光追踪测量电气控制系统。利用四象限光电传感器(quadrant photo-detector,QPD)对激光束光斑偏移量进行实时测量,将光斑偏移量通入可编程多轴运动控制器(programmable multi-axis controller,PMAC)中进行处理,并结合伺服电机构成闭环系统,采用工程整定方法调节PID,实现测量系统的平稳追踪测量。试验结果表明,控制系统运行平稳、追踪性能良好,激光光斑返回四象限光电传感器中心的平均时间为0.25
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