【摘 要】
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在中国原子能科学研究院HI-13串列加速器上建立了一套高分辨的弹性反冲探测分析技术.用高质量的127I重离子束轰击薄膜或块材靶样品,利用Q3D磁谱仪及其焦面探测器和纵向型双电
【基金项目】
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国家自然科学基金，国际原子能机构资助项目
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在中国原子能科学研究院HI-13串列加速器上建立了一套高分辨的弹性反冲探测分析技术.用高质量的127I重离子束轰击薄膜或块材靶样品,利用Q3D磁谱仪及其焦面探测器和纵向型双电离室ΔE-E望远镜探测器两套探测系统,在前角区测量了靶中各种元素的反冲能谱.利用卢瑟福散射截面和离子在靶材料中的阻止本领,将能谱转换成元素的深度分布.利用Q3D磁谱仪系统,对C和H等轻元素的分析得到纳米级的深度分辨谱.用ΔE-E望远镜探测器可同时得到靶材料上从轻至中重各种元素的深度分布,其深度分辨率达20-30nm.
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