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介绍了在二极管探针台测试晶圆过程中一种晶圆自动对准方法。在承片台上放置晶圆后,首先利用一次模板匹配实现对晶圆偏转角度的调整;然后,晶圆上的特征点移至CCD视场范围内,对初始特征点进行二次模板匹配,再将晶圆上的测试起点移至测试探针下方完成对准工作。
一种基于二次模板匹配的晶圆对准方法
【摘 要】
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介绍了在二极管探针台测试晶圆过程中一种晶圆自动对准方法。在承片台上放置晶圆后,首先利用一次模板匹配实现对晶圆偏转角度的调整;然后,晶圆上的特征点移至CCD视场范围内,对初始特征点进行二次模板匹配,再将晶圆上的测试起点移至测试探针下方完成对准工作。
【机 构】
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秦皇岛视听机械研究所
【出 处】
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机电产品开发与创新
【发表日期】
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2017年05期
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