【摘 要】
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在碱溶液各向异性腐蚀单晶硅片制备绒面的过程中,固定反应温度和添加剂体积分数,重点研究了金字塔倾斜角α的大小与反射率间的关系,并分析了反应时间和NaOH溶液的浓度对表面
【基金项目】
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国家高技术研究发展计划（863计划）项目（2006AA03Z219）, 江苏高校优势学科建设工程项目
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在碱溶液各向异性腐蚀单晶硅片制备绒面的过程中,固定反应温度和添加剂体积分数,重点研究了金字塔倾斜角α的大小与反射率间的关系,并分析了反应时间和NaOH溶液的浓度对表面织构的影响。用分光光度计测量了制备绒面的反射率,结果表明,当腐蚀时间为40 min,NaOH质量分数为2.5%时,在400 nm～1 100 nm波长范围内,绒面平均反射率最低,仅为10.54%。用扫描电镜观察了Si片表面形貌和金字塔倾斜角α,发现所得反射率最低的绒面金字塔倾斜角α为54.02°。以所得实验数据为基础,得到了反射率随
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