【摘 要】
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为了在传统PID控制的基础上实现参数的实时在线调整,获得更好的控制效果,进行了模糊PID控制的原子力显微镜仿真研究.运用欧拉-伯努利方程对幅度调制模式原子力显微镜（AM-AFM）的
【机 构】
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北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院,北京航空航天大学物理科学与核能工程学院,北京航空航天大学数学与系统科学学院
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为了在传统PID控制的基础上实现参数的实时在线调整,获得更好的控制效果,进行了模糊PID控制的原子力显微镜仿真研究.运用欧拉-伯努利方程对幅度调制模式原子力显微镜（AM-AFM）的探针动态过程进行建模,并依据AM-AFM负反馈控制的系统模型,加入模糊PID控制模块,建立了一套完整的AM-AFM系统仿真平台.根据专家经验并查找模糊规则手册,建立了PID参数的模糊规则表,实现PID参数实时在线调整,实现了高品质的控制;同时,结合Ziegler-Nichols法离线调整出一组初值,并将此初值运用于模糊系统的模糊
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