基于数学形态学的激光雕刻中光刻槽补偿算法研究

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光刻槽的补偿问题在激光雕刻中有着重要意义。作者分析了光刻槽现象的数学形态学本质,在此基础上,提出了一种可变结构元补偿算法,在实践中取得了良好效果。 The problem of lithography compensation in laser engraving is of great significance. The author analyzes the mathematical morphological nature of the lithography groove phenomenon. On this basis, a variable structure element compensation algorithm is proposed, which has achieved good results in practice.
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