【摘 要】
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国家半导体照明办公室调查统计结果显示:2008年,我国外延芯片设备增加较快,芯片产能增长迅速。据统计,国内MOCVD(金属有机物化学汽相淀积)拥有量超过100台左右,其中已经安装
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国家半导体照明办公室调查统计结果显示:2008年,我国外延芯片设备增加较快,芯片产能增长迅速。据统计,国内MOCVD(金属有机物化学汽相淀积)拥有量超过100台左右,其中已经安装的生产型GaN(氮化镓)MOCVD超过85台,生产型四元系MOCVD15台左右,国内科研院所的研究型设备也有所增加。?
National Semiconductor Lighting Office survey statistics show that: in 2008, China’s epitaxial chip equipment increased rapidly, the rapid growth of chip capacity. According to statistics, the domestic MOCVD (metal organic chemical vapor deposition) owned more than 100 units, of which there are already installed production GaN (GaN) MOCVD more than 85 units, production Quaternary MOCVD15 Taiwan, the National Academies The research equipment has also increased. ?
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