四氯化硅流化床选用与DCS温度控制因素的讨论

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四氯化硅流化床的串联设计以及对工艺的DCS的优化,使流化床反应器的直径和高度都有所降低,设备的费用也相应的降低,工艺操作条件更加容易控制,这样不仅提高四氯化硅的转化率,降低四氯化硅循环次数,同时还减低能耗,节约了多晶硅的生产成本。
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