【摘 要】
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基于柱面透镜修正Otto结构产生的表面等离子体共振(SPR)效应,提出一种测量金属薄膜厚度的方法。该方法无需用s偏振光提取背景光强,可直接利用在p偏振光入射条件下得到的单幅S
【机 构】
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中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学与光电技术实验室; 中国科学院大学;
【基金项目】
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政府间国际科技创新合作重点专项(2016YFE0110600);国家自然科学基金(51605473);上海市国际科技合作基金(16520710500);上海市科技人才计划(17YF1429500);上海市青年科技英才扬帆计划(18YF1426500);青促会资助
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基于柱面透镜修正Otto结构产生的表面等离子体共振(SPR)效应,提出一种测量金属薄膜厚度的方法。该方法无需用s偏振光提取背景光强,可直接利用在p偏振光入射条件下得到的单幅SPR吸收图像拟合背景光强,进而得到竖直方向上的归一化反射率曲线。从而建立光学薄膜模型并拟合了反射率曲线,反演出待测金属薄膜的厚度参数。实验对一个纳米级厚度的Au膜样品进行测量,测量结果表明,Au膜的平均厚度与商用光谱椭偏仪的测量结果之差为0.1 nm,验证了该方法的有效性。
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