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利用射频溅射法制备了GeSb2Te4薄膜并对其进行热处理，分析热处理前后样品的结晶情况，用纳米硬度计测定硬度，利用静电力显微镜表征样品的表面电势，采用原子力显微镜观察薄膜表面形貌，利用侧向力显微镜对比考察了在考虑相对湿度的情况下，热处理前后GeSb2Te4薄膜的粘附力和摩擦性能．结果表明：经过退火的沉积态GeSb2Te4薄膜发生从非晶相到fcc亚稳相再到hex稳定相转变；粘附力与表面粗糙度之间没有明显的对应关系，但与样品表面自由能和表面电势有一定关系；在低载荷下GeSb2Te4薄膜的摩擦力很大程度上受粘附