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用射频磁控溅射法制备了超薄富硅氧化硅薄膜（ETSSO），利用Au／ETSSO／p-Si结构的I-V特性曲线对其电流输运机制进行了定性分析，从而解释了具有整流特性的原因。
Au／ETSSO／p-Si结构的整流特性分析研究
【摘 要】
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用射频磁控溅射法制备了超薄富硅氧化硅薄膜（ETSSO），利用Au／ETSSO／p-Si结构的I-V特性曲线对其电流输运机制进行了定性分析，从而解释了具有整流特性的原因。
【机 构】
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甘肃农业大学理学院,西北师范大学物理与电子工程学院
【出 处】
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甘肃科技
【发表日期】
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2008年6期
【基金项目】
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甘肃农业大学理学院青年教师科研基金资助.
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