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以H2和CH4作为反应气体,采用热丝化学气相沉积法（HFCVD）在钛合金（Ti6Al4V）平板基体上制备金刚石薄膜,利用扫描电镜（SEM）、X射线衍射仪（XRD）、激光拉曼光谱（Raman）和洛氏硬度仪分析薄膜的表面形貌、结构、成分和附着性能,研究了高温形核-低温生长的梯度降温法对原始钛合金和反应磁控溅射TiC过渡层的钛合金表面沉积金刚石薄膜的影响。结果表明：原始基体区和TiC过渡层区沉积的金刚石薄膜平均尺寸分别为0.77μm和0.75μm,薄膜内应力分别为-5.85GPa和-4.14GPa,TiC层的引