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β-C_3N_4的制备及若干问题探讨
β-C_3N_4的制备及若干问题探讨
来源 :物理 | 被引量 : 0次 | 上传用户:huahua7717
【摘 要】
:
采用热丝辅助反应溅射和等离子体增强热丝化学气相沉积(CVD)的制备方法,获得了含有β-C3N4结晶相的CNx薄膜,文章将重点介绍制备参数与CNx薄膜结构的关系,并进一步讨论与β-C3N4结晶相择优菜关的主要问
【作 者】
:
陈光华
严辉
【机 构】
:
北京工业大学应用物理系
【出 处】
:
物理
【发表日期】
:
1998年2期
【关键词】
:
C3N4
反应溅射
热线CVD
薄膜
超硬材料
synthesis of β-C 3N 4
reactive sputtering
hot filame
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采用热丝辅助反应溅射和等离子体增强热丝化学气相沉积(CVD)的制备方法,获得了含有β-C3N4结晶相的CNx薄膜,文章将重点介绍制备参数与CNx薄膜结构的关系,并进一步讨论与β-C3N4结晶相择优菜关的主要问题
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