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β-C_3N_4的制备及若干问题探讨
采用热丝辅助反应溅射和等离子体增强热丝化学气相沉积(CVD)的制备方法,获得了含有β-C3N4结晶相的CNx薄膜,文章将重点介绍制备参数与CNx薄膜结构的关......
期刊
C3N4
反应溅射
热线CVD
薄膜
超硬材料
synthesis of β-C 3N 4
reactive sputtering
hot filame
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