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应用正电子湮没技术,研究在PCVD过程中不同衬底温度对a-Si:H薄膜结构的影响,并应用微晶模型进行解释。
应用正电子湮没技术研究衬底温度对a—Si：H薄膜结构的影响
【摘 要】
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应用正电子湮没技术,研究在PCVD过程中不同衬底温度对a-Si:H薄膜结构的影响,并应用微晶模型进行解释。
【机 构】
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南京大学物理系,南京大学物理系
【出 处】
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南京大学学报：自然科学版
【发表日期】
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1991年2期
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