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应用正电子湮没技术研究衬底温度对a—Si:H薄膜结构的影响
应用正电子湮没技术研究衬底温度对a—Si:H薄膜结构的影响
来源 :南京大学学报:自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户:sdlnf
【摘 要】
:
应用正电子湮没技术,研究在PCVD过程中不同衬底温度对a-Si:H薄膜结构的影响,并应用微晶模型进行解释。
【作 者】
:
滕敏康
王志超
【机 构】
:
南京大学物理系,南京大学物理系
【出 处】
:
南京大学学报:自然科学版
【发表日期】
:
1991年2期
【关键词】
:
正电子湮没
PCVD
A-SI-H
薄膜
structure of a-Si:H film
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应用正电子湮没技术,研究在PCVD过程中不同衬底温度对a-Si:H薄膜结构的影响,并应用微晶模型进行解释。
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