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通过PCD表面干研磨，湿研磨，纯湿研磨等对比试验，观察干研磨，湿研磨表面形貌，研究了PCDS材料研磨机理，试验结果表明，干研磨去除率远大于湿研磨去除率，并可使PCD表面达到镜面，湿研磨，印湿研磨不能使其达到镜面，干研磨时，材料的去除机理以热化学去除为主，基本不发生疲劳脆性去除，湿研磨时，材料去除机理以疲劳脆性去除为主，同时存在局部的热化学去除。