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用ＰＥＣＶＤ方法制备出二氧化锡薄膜，利用双探针技术诊断出等子体反应器内电子密度的分布，并分析了它对薄膜电阻的影响，透射电镜分析表明随沉积温度升高，二氧化锡薄膜从非晶态转变为多晶态，其电阻庇随之减小，掺锑的二氧化锡薄膜对石油液化气和酒精具有良好的气敏效应。
二氧化锡薄膜的PECVD制备的特性
【摘 要】
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用ＰＥＣＶＤ方法制备出二氧化锡薄膜，利用双探针技术诊断出等子体反应器内电子密度的分布，并分析了它对薄膜电阻的影响，透射电镜分析表明随沉积温度升高，二氧化锡薄膜从非晶态转变为多晶态
【机 构】
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暨南大学物理系,华南师范大学量子电子研究所
【出 处】
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暨南大学学报：自然科学与医学版
【发表日期】
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1997年3期
【基金项目】
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国务院侨务办公室重点学科科研基金
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