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二氧化锡薄膜的PECVD制备的特性
二氧化锡薄膜的PECVD制备的特性
来源 :暨南大学学报:自然科学与医学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户:biiq123
【摘 要】
:
用PECVD方法制备出二氧化锡薄膜,利用双探针技术诊断出等子体反应器内电子密度的分布,并分析了它对薄膜电阻的影响,透射电镜分析表明随沉积温度升高,二氧化锡薄膜从非晶态转变为多晶态
【作 者】
:
刘彭义
陈俊芳
【机 构】
:
暨南大学物理系,华南师范大学量子电子研究所
【出 处】
:
暨南大学学报:自然科学与医学版
【发表日期】
:
1997年3期
【关键词】
:
二氧化锡薄膜
透射电镜
气敏性
PECVD法
:SnO2 thin film
transmission electron micrograph
sheet
【基金项目】
:
国务院侨务办公室重点学科科研基金
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用PECVD方法制备出二氧化锡薄膜,利用双探针技术诊断出等子体反应器内电子密度的分布,并分析了它对薄膜电阻的影响,透射电镜分析表明随沉积温度升高,二氧化锡薄膜从非晶态转变为多晶态,其电阻庇随之减小,掺锑的二氧化锡薄膜对石油液化气和酒精具有良好的气敏效应。
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