【摘 要】
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采用溶胶凝胶方法在K9玻璃基片上镀制了SiO2增透膜，并对其中一些样品进行了氨处理。分别采用原子力显微镜、红外光谱仪、椭偏仪、透射式光热透镜测试了氨处理前后薄膜的微观表
【机 构】
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电子科技大学物理电子学院应用物理系,中国工程物理研究院激光聚变研究中心
【基金项目】
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国家863计划项目资助课题,电子科技大学创新团队基金资助项目,中物院国防预研项目
论文部分内容阅读
采用溶胶凝胶方法在K9玻璃基片上镀制了SiO2增透膜，并对其中一些样品进行了氨处理。分别采用原子力显微镜、红外光谱仪、椭偏仪、透射式光热透镜测试了氨处理前后薄膜的微观表面形貌、化学结构、折射率和弱吸收。实验结果表明：经氨处理后薄膜的孔隙率从0．73降低到0．63，其弱吸收从67.88×10^-6增加到74.58×10^-6，薄膜的激光损伤闽值从处理前的18．0 J／cm^2降低到16．9 J／cm^2。考虑到氨处理能提高SiO2增透膜的机械性能，实际应用中应根据需要折中处理。
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