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利用微电子机械加工技术成功地研制出电势激励、压阻拾振的高精度硅谐振梁式压力传感器，传感器的谐振器的品质因素Ｑ值大于１７０００。采用扫描检测方式和闭环自激振荡方式测定压力传感器的压力特性，其压力测试范围为０￣４００ｋＰａ，线性相关系数为０．９９９９５，测试精度小于０。０６％Ｆ．Ｓ。
微结构谐振梁式压力传感器研究
【摘 要】
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利用微电子机械加工技术成功地研制出电势激励、压阻拾振的高精度硅谐振梁式压力传感器，传感器的谐振器的品质因素Ｑ值大于１７０００。采用扫描检测方式和闭环自激振荡方式测定压力传感器
【机 构】
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中国科学院电子学研究所,传感技术国家重点实验室
【出 处】
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传感技术学报
【发表日期】
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2000年4期
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