微电子机械加工相关论文
本文介绍了中国科技大学国家同步辐射实验室的同步辐射光源深度光刻光束线和实验站,深度同步辐射光刻实验的初步结果.得到了厚为1m......
利用微电子机械加工技术成功地研制出电势激励、压阻拾振的高精度硅谐振梁式压力传感器，传感器的谐振器的品质因素Ｑ值大于１７０００。采用扫描......
【正】 微电子机械作为一门新兴学科,正在世界范围内受到重视与关注。以往出现在美国科幻影片中的情节,正由科学家们的智慧与力量......
据报道，近期，中国化学院固体物理研究所（简称“中科院固体所”）所与中科院上海微系统研究所的相关课题组合作，提出将微／纳结构有序多孔薄......
介绍了一种以FP谐振腔为基础,用于波分复用系统的MOEMS器件-电控可调谐FP光滤波器.器件采用微电子机械加工技术研制.研究了FP型解......
微电子加工技术和振动惯性技术相结合使惯性仪表技术发生了重大变革，惯性器件的概念已从宏观领域发展到微观世界，人们已能象生产集成......
设计了一种不同于传统光栅扫描型光谱仪的新型微小型红外光谱仪。该光谱仪采用灵敏度高且体积小巧的非致冷红外探测器LiTaO3，在光路......
详细介绍了采用MEMS技术研制的三维微结构LAPS阵列芯片,芯片表面划分成5×7个敏感单元,其中每个敏感区表面设置40×40个硅......
