论文部分内容阅读
Protron Mikrotechnik公司开发了一种新的高精度光纤对齐结构。该结构特别适合用于一维和两维光纤阵列。这一对齐结构是利用薄硅片通过深反应离子刻蚀技术制造的。该结构由一个带有锁紧机制的通孔构成。锁紧机制将光纤定位在中心位置,并保证光纤间距的误差在亚微米量级。该结构适用于市场上任何直径为125μm的单模和多模光纤。