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提出了一种激光诱导液相腐蚀新方法-电极腐蚀法。电极腐蚀法是指进行激光化学液相腐蚀时，在腐蚀溶液中添加电极，以吸引反应中间离子脱离基片表面，实现腐蚀的持续稳定进行。理论分析和实验结果都表明，电极腐蚀法可以有效地加快激光腐蚀的进程；吸附在基片表面的离子在电极作用下，快速迁移出基片表面，保证了基片表面腐蚀溶液构成的稳定，进而得到更加均匀的腐蚀表面；利用电流随腐蚀速率变化而变化的特点，使腐蚀速率和深度的直接监控转变为对腐蚀电流的间接控制，简化腐蚀控制方法。基于以上优点，电极腐蚀法可以克服现有激光腐蚀方法的诸多弊端