论文部分内容阅读
柱面涂胶问题、刻划间隙的选取及新型光刻掩模板的研制是柱面图形光学刻划需解决的三大关键问题，本文以这三个问题为中心详细讨论了在圆柱面上光刻图形的方法。
柱面图形光学刻划的研究
【摘 要】
：
柱面涂胶问题、刻划间隙的选取及新型光刻掩模板的研制是柱面图形光学刻划需解决的三大关键问题，本文以这三个问题为中心详细讨论了在圆柱面上光刻图形的方法。
【机 构】
：
中国科学院长春光学精密机械研究所应用光学国家重点实验室
【出 处】
：
仪器仪表学报
【发表日期】
：
1999年1期
其他文献
为满足高精度动平衡测量的要求,以提高不平衡量及其相位的提取精度为研究目标,利用谐波小波的相位锁定和窄带分析能力,设计了谐波小波自适应滤波器,发展了一种能够在强变频率结构背景噪声干扰下确保高精度提取幅值和相位的自适应方法。仿真与实际应用表明,该方法适合动平衡测量,完全满足高精度和实时性的要求,具有充裕的应用潜力。
学习理论运用理论──乌盟各级领导干部用科学理论武装头脑决策工作王玉明，吴玉库乌盟盟委把组织各级干部学好建设有中国特色的社会主义理论，作为一项根本性的战略措施来抓，充分
一、提高认识、统一思想，加强领导，增加投入。当前，社会精神生活方面存在着许多问题，有多方面的原因，很重要的一条是在思想上没有解决问题，对两个文明的关系缺乏全面理解，对精神文明
我区近期宣传思想工作重点关于大学习大讨论工作自治区党委决定社会主义市场经济理论大学习大讨论延至９月底结束。要按照６月份在包头和乌兰浩特召开的东西两片座谈会的精神去推