湿膜（液态光致抗蚀剂）辊涂法之现况

来源 :印制电路信息 | 被引量 : 0次 | 上传用户：ylg_lanxi

【摘要】

：

1前言湿膜液态光致抗蚀剂膜厚甚薄(约8-10μm,只有干膜的1/3左右),不但解像(Resolution)能力可大为改善,而且废水处理之负担亦显著降低.更因其侧壁极矮,对后续蚀刻所产生的不

【作者】

：

白蓉生

【机构】

：

TPCA技术顾问

【出处】

：

印制电路信息

【发表日期】

：

2001年4期

【关键词】

：

湿膜液态光敏抗蚀剂辊涂法

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

1前言湿膜液态光致抗蚀剂膜厚甚薄(约8-10μm,只有干膜的1/3左右),不但解像(Resolution)能力可大为改善,而且废水处理之负担亦显著降低.更因其侧壁极矮,对后续蚀刻所产生的不良水坑效应(Puddle Effect)也得以大幅减轻.由于可在铜面直接涂布,不但光致抗蚀剂本身厚度减薄成本降低,并尚能免除干膜中盖(载)膜(Mylar)与隔膜(Separator)之额外花费,故其物料价值与操作费用等所集合之总体成本亦低于干膜.

其他文献

信息门户网站在企业中的应用

信息门户(EIP)网站的建立已经成为全球企业关注的焦点,文章阐述其应用背景、作用,以及产生的巨大效应.

期刊

EIP信息平台信息化建设信息门户EIP information platform portal

电磁感应中的导轨问题归类分析

在电磁感应中有一类比较典型的问题：导轨问题。它涉及力学、功能关系、电磁学等一系列基本概念、基本规律和科学思维方法。本文就高中阶段所碰到的电磁感应中的导轨问题，做一归

期刊

电磁感应导轨归类分析

陆两优28

陆两优28是湖南亚华种业科学院选育而成的迟熟早籼稻品种.2003年通过湖南省农作物品种审定委员会审定,可在湖南省作早稻种植.

期刊

陆两优28品种早灿稻品种性状栽培技术

平喘灵冲剂对实验性大鼠血浆CGRP的影响

目的：探讨中药平喘灵冲剂（Pingchuanlingchongji，PCL）对哮喘大鼠血浆降钙素基因相关肽（CGRP）影响及其可能机制。方法：采用放射免疫方法测定哮喘大鼠血浆中CGRP含量。结果：模型组哮喘

期刊

平喘灵冲剂药理学大鼠实验研究平喘作用

养鳖投饵有讲究

1.设简易投饵框为避免鳖摄食时来回爬动造成饲料散落在池中,可采用简易投饵框.框用塑料或木材制成,框底板上钉上竹制或木制钉,钉间距以鳖脖子能伸入而身体不能进去为准.饵料

期刊

饵料投喂方法鳖

舞指精灵

俗话说：手是女人的第二张脸，可见手的护养对女人来说有多么重要。当春天这个色彩缤纷的季节来临，可曾想过为你的双手加些美妙的颜色呢？告别单调的法式水晶甲，在家也能DIY属于自己

期刊

DIY女人色彩

健脾活血利水法治疗肝硬变腹水36例

目的:观察健脾活血利水类中药治疗肝硬变腹水的临床疗效.方法:采用自拟健脾活血消臌汤(党参、白术、茯苓、山药、丹参、赤芍、泽兰、制龟版、三棱等)治疗肝硬变腹水36例.结果

期刊

肝硬变腹水健脾活血消臌汤健脾活血利水法中医药疗法

黔东南苗族银饰艺术——古老而纯朴的手工技艺及其审美价值

历史上,人类对于金银制品从来都是将其视为财富和地位的代名词.在我国,制银工艺在战国时期就发展起来了.<禹贡>有所谓"惟金三品",即把金、银、铜并列为金属三品.金银作为装饰

期刊

苗族银饰艺术手工技艺贵州制银工艺服饰文化传统

中英恭维语的使用与应答比较

恭维语的使用是建立和谐人际关系的一个重要手段。在中英两国人民的语言文化交流中，恭维语是时常使用的最为普遍的语言之一。但是由于两国社会结构及文化背景的不同，在恭维语的

期刊

中英文化恭维语使用与应答比较

覆铜板半自动叠板生产扫布方法改良

1前言在覆铜板生产行业中,叠板又称为叠书,分全自动叠板线及半自动叠板线两种方式.全自动叠板线主要特点是预叠料配铜箔及不锈钢镜面板移放全部由机器操作完成.

期刊

湿膜（液态光致抗蚀剂）辊涂法之现况

与本文相关的学术论文