液态光敏抗蚀剂相关硕士博士期刊学术论文

1前言湿膜液态光致抗蚀剂膜厚甚薄(约8-10μm,只有干膜的1/3左右),不但解像(Resolution)能力可大为改善,而且废水处理之负担亦显著......