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从外延工艺和芯片工艺上,对AIGa In P系LED在提升外量子效率的各种方法做了分析,探讨了各种工艺目前存在的优势和缺点。以期为Ga As基AIGa In P LED的发展提供理论依据。
AIGaInP系LED工艺进展分析
【摘 要】
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从外延工艺和芯片工艺上,对AIGa In P系LED在提升外量子效率的各种方法做了分析,探讨了各种工艺目前存在的优势和缺点。以期为Ga As基AIGa In P LED的发展提供理论依据。
【机 构】
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厦门市三安光电科技有限公司
【出 处】
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中国新技术新产品
【发表日期】
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2017年3期
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