【摘 要】
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目的研究激光平滑光学元件的工艺,探索使用CW(连续)CO2激光器对熔石英光学元件表面进行平滑处理时,当激光束功率、束斑尺寸一定的情况下,不同的扫描速度对平滑后熔石英元件表
【机 构】
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西安工业大学光电工程系,中国工程物理研究院激光聚变研究中心
【基金项目】
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国家自然科学基金(51505444);中国工程物理研究院超精密加工重点实验室基金(ZZ15004);中国工程物理研究院激光聚变研究中心青年人才基金(LFRC-PD012);国防科技卓越青年基金(2017-JCJQ-ZQ-024)~~
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目的研究激光平滑光学元件的工艺,探索使用CW(连续)CO2激光器对熔石英光学元件表面进行平滑处理时,当激光束功率、束斑尺寸一定的情况下,不同的扫描速度对平滑后熔石英元件表面粗糙度的影响规律。方法用仿真结合实验的方式进行了研究。使用有限元仿真模型对激光功率为25W,作用斑点为短轴2mm、长轴3mm的椭圆斑的激光加工模型进行了仿真,得到了不同扫描速度下激光束作用于熔石英表面的温度场及对应的稳定温度。通过定点照射实验验证了温度仿真结果的准确性,并进行了扫描速度为0.04、0.1、0.2、0.35、0.5mm/s
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