碳化硅晶须连续生产烧结炉初探

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采用卧式电热连续烧结炉生产碳化硅晶须,发热全选用石墨棒,耐火材料选用刚玉砖,保温材料选用高超砖和粘土砖;在满足工艺要求前提下,炉体断面尺寸尽可能大,矩形断面尺寸宽×高为250×280mm,预热带、烧成带、冷却带长度为0.4m,1.6m,2.4m。
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