In1—xGaxAs/InP多量子阱结构的LP—MOVPE生长

来源 :吉林大学自然科学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:mileyChina
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本文报导在低温,低压下,以三甲基镓(TMG),三乙基铟(TEI)为Ⅲ族源材料,100%砷烷(AsH3),100%磷烷(PH3)为V族源材料,用金属有机化合物气相沉积技术在(100)InP衬底上生长出In1-GaxAs/InP多量子阱结构材料,X光摇摆曲线观测到由于周期性多量子阱结构而产生的多级卫星峰,光致光测量给出了不同阱宽下由量子阱尺雨效应而导致的PL谱。
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