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测量透明平板表面形貌的相位共轭干涉仪
测量透明平板表面形貌的相位共轭干涉仪
来源 :中国建材 | 被引量 : 0次 | 上传用户:shang66
【摘 要】
:
该专利是一种测量透明平板表面形貌的相位共轭干涉仪。该相位共轭干涉仪包括产生干涉光束,经第三透镜和第二透镜的平行光束射到街测透明平板上,而后反射回的光束经第二透镜和第
【出 处】
:
中国建材
【发表日期】
:
2007年10期
【关键词】
:
相位共轭
表面形貌
干涉仪
平板
测量
干涉光束
分束器
透镜
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该专利是一种测量透明平板表面形貌的相位共轭干涉仪。该相位共轭干涉仪包括产生干涉光束,经第三透镜和第二透镜的平行光束射到街测透明平板上,而后反射回的光束经第二透镜和第一分束器的反射,再经过第四透镜、第二分束器、第三分束器、
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