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该专利是一种测量透明平板表面形貌的相位共轭干涉仪。该相位共轭干涉仪包括产生干涉光束，经第三透镜和第二透镜的平行光束射到街测透明平板上，而后反射回的光束经第二透镜和第一分束器的反射，再经过第四透镜、第二分束器、第三分束器、
测量透明平板表面形貌的相位共轭干涉仪
【摘 要】
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该专利是一种测量透明平板表面形貌的相位共轭干涉仪。该相位共轭干涉仪包括产生干涉光束，经第三透镜和第二透镜的平行光束射到街测透明平板上，而后反射回的光束经第二透镜和第
【出 处】
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中国建材
【发表日期】
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2007年10期
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