反渗透法制取电子级超纯水工艺的改进

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在现代大型微电子工业用超纯水系统中二级反渗透+N2配合真空膜脱气+三级混床的工艺属当今最新开发的工艺,在大型系统中应用很少,我们通过三年多的不断摸索、实践和优化改进,最终将该套具有技术先进、投资少、结构紧凑、出水量大、品质高等特点的水系统很成功地稳定运行,解决了工艺流程中的缺陷和不足,并且很好地控制了运行成本.
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