钇离子束动态增强沉积氮化钛膜

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【摘要】

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在膜层上接收注入钇离子和沉积钛原子比例Y+:Ti=1:12的条件下,采用钇离子束动态增强沉积方法,在纯铁等基体上制备氮化钛膜层试样.对试样予以电化学测试和AES、XRD分析.XRD结

【作者】

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张涛侯君达李国卿

【机构】

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北京师范大学低能核物理研究所,大连理工大学物理系

【出处】

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核技术

【发表日期】

：

2002年1期

【关键词】

：

动态增强沉积钇离子束表面改性氮化钛膜金属铁基体抗蚀性能抗电化学腐蚀能力 Dynamic enhanced deposition Metal io

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在膜层上接收注入钇离子和沉积钛原子比例Y+:Ti=1:12的条件下,采用钇离子束动态增强沉积方法,在纯铁等基体上制备氮化钛膜层试样.对试样予以电化学测试和AES、XRD分析.XRD结果未发现钇单质或氮化钇的衍射峰.载能金属离子的动态增强沉积作用产生了界面混合效果,形成较宽的过渡层.动态增强沉积试样比非增强沉积试样有更强的抗电化学腐蚀能力.

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