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<正> 在当今社会,微电子技术已渗透到一切现代技术乃至社会生活的各个领域。微电子技术的进步,包括由此产生的计算机及网络技术、移动通信技术、多媒体传播技术的进步,正迅速改变现代社会的面貌,引起一场新的产业革命。这主要归因子近20年来超大规模集成电
VLSI微细加工技术
【摘 要】
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<正> 在当今社会,微电子技术已渗透到一切现代技术乃至社会生活的各个领域。微电子技术的进步,包括由此产生的计算机及网络技术、移动通信技术、多媒体传播技术的进步,正迅速
【出 处】
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科学
【发表日期】
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1995年3期
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