【摘 要】
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传感器实现和检测过程中涉及多种精密测量手段．介绍了加速度传感器的基本原理，包括加速度机械敏感结构、位移-电容转换、调制-解调信号提取、闭环反馈控制等内容，并给出了加速度传感器输入-输出模型和基本测试方法．设计了加速度传感器实验装置，包括加速度传感器组装的零部件、前放电路、用于信号检测的锁相放大器、传感器静态/动态标定仪器及其他辅助设备．加速度传感器的实现与检测结果表明：在开环和闭环工作模式下，对于
【基金项目】
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国家重点研发计划“智能传感器”专项项目资助（No.2021FYB3201603,No.2021FYB3201604）；
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传感器实现和检测过程中涉及多种精密测量手段．介绍了加速度传感器的基本原理，包括加速度机械敏感结构、位移-电容转换、调制-解调信号提取、闭环反馈控制等内容，并给出了加速度传感器输入-输出模型和基本测试方法．设计了加速度传感器实验装置，包括加速度传感器组装的零部件、前放电路、用于信号检测的锁相放大器、传感器静态/动态标定仪器及其他辅助设备．加速度传感器的实现与检测结果表明：在开环和闭环工作模式下，对于微弱加速度信号的传感性能均符合实验设计和预期．
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