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本文就２０００年前开发３００ｍｍ圆片设备的必然性和重要性做了论述。并给出了研究３００ｍｍ圆片的课题，期望２０００年能建成若干条３００ｍｍ圆片生产线。
1995—2000年半导体设备的主攻方向—300mm圆片设备
【摘 要】
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本文就２０００年前开发３００ｍｍ圆片设备的必然性和重要性做了论述。并给出了研究３００ｍｍ圆片的课题，期望２０００年能建成若干条３００ｍｍ圆片生产线。
【机 构】
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无锡市元件四厂
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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1995年4期
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