【摘 要】
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为制备具有电容和压敏特性的 Sr Ti O3双功能器件 ,以 Sr(NO3) 2 ,Ti(OC4 H9) 4为原料 ,用溶胶 -凝胶方法制备 Sr Ti O3材料 ,研究了水和醋酸等对 Sr Ti O3材料的影响机理 ,
【机 构】
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为制备具有电容和压敏特性的 Sr Ti O3双功能器件 ,以 Sr(NO3) 2 ,Ti(OC4 H9) 4为原料 ,用溶胶 -凝胶方法制备 Sr Ti O3材料 ,研究了水和醋酸等对 Sr Ti O3材料的影响机理 ,并对其进行 X-射线衍射、红外光谱和 TEM分析 ,证明该薄膜为纳米晶体结构 ,晶粒尺寸为 1 2～ 2 5nm。
In order to prepare SrTiO3 dual-function device with capacitance and pressure-sensitive properties, SrTiO3 was prepared by sol-gel method using Sr (NO3) 2 and Ti (OC4H9) 4 as raw materials. The influence mechanism of SrTiO3 on the microstructure of the SrTiO3 materials was investigated by X-ray diffraction, FTIR and TEM. The results show that the film has a nanocrystalline structure with a grain size of 1-25 nm.
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