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通过实验对热氧化工艺中的两种不同方法,即干氧氧化和水汽氧化进行了比较研究,证明了利用这种工艺形成硅基片硬质掩膜的可行性.
关于硅基片硬质掩膜形成的可行性研究
【摘 要】
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通过实验对热氧化工艺中的两种不同方法,即干氧氧化和水汽氧化进行了比较研究,证明了利用这种工艺形成硅基片硬质掩膜的可行性.
【机 构】
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大连民族学院
【出 处】
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大连民族学院学报
【发表日期】
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2001年3期
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