热氧化工艺相关论文
少子寿命是反映半导体材料质量和器件特性非常重要的参数之一,在改善SiC双极功率器件的通态和开关特性方面起到了至关重要的作用.......
由于AlGaN/GaNHEMT(高迁移率晶体管)显示出了优异的功率特性和频率特性,因此已成为国内外的研究热点。但是GaN基HEMT经过多年研究开......
针对钛合金具有耐磨性差等缺点,提出了钛合金热氧化处理工艺.选择Ti6Al4V合金在850℃下进行氧化/真空扩散处理,同时作为对比进行了......
通过实验对热氧化工艺中的两种不同方法,即干氧氧化和水汽氧化进行了比较研究,证明了利用这种工艺形成硅基片硬质掩膜的可行性.......
介绍了半导体热氧化工艺以及热氧化工艺过程中外燃式氢氧合成系统的机理和优势,分析氢氧合成在使用过程中潜在的安全风险,有针对性......
本文主要介绍了用于有机废气及废液处理的热氧化工艺的分类,着重介绍了其工艺原理、技术特点和适用范围。调查了各种氧化工艺的在......