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提出一种基于BPNN—PID（BackPropagationNeuralNetworkPID）的纳米定位控制系统。该系统包括驱动平台的超音波马达HR4及其驱动器AB2，共平面二维平台，及作为各轴位移反馈的多自由度传感器MDFS（MultiDegreesofFreedomSensor）。超音波马达HR4及其驱动器AB2提供三种驱动模式（AC，Gate和DC模式）来适应不同的行程、速度和分辨力要求；AC模式下使用BPNN—PID控制速度，Gate模式下使用简单的比例PID控制步距，DC模式下重新使用BPNN—