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采用管式炉研究了950～1100℃温度区间C2F6的分解特性，并研究了C2F6的初始浓度、反应温度、停留时间对C2F6分解率的影响．实验结果表明，C2F6初始浓度越低、温度越高、反应时间越长，C2F6分解率就越高．同时，热解反应的反应级数应该介于0和1之间．在温度为1100℃，C2F6初始浓度为223．2μmol／L，停留时间为2s时，C2F6分解率高达90％．根据Arrhenius方程计算，在950～1100℃，C2F6热分解反应的活化能（Ea）为313．2kJ／mol，频率因子（A）为8．8×