【摘 要】
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采用传统固相反应法制备CaTiO3掺杂Mg2B2O5微波介电陶瓷。使用X线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和微波介电性能测试等手段,研究了CaTiO3掺杂对样品微观结构和微波介电性
【机 构】
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电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目(51672038).
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采用传统固相反应法制备CaTiO3掺杂Mg2B2O5微波介电陶瓷。使用X线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和微波介电性能测试等手段,研究了CaTiO3掺杂对样品微观结构和微波介电性能的影响。结果表明,Mg2B2O5相和CaTiO3相二者能够共存,随着CaTiO3掺杂量的增加介电常数和谐振频率温度系数会增大,而品质因数会有所下降。当CaTiO3的质量分数为5%时,样品在1085℃烧结4h后获得了最佳微波介电性能,即介电常数εr=7.03,品质因数Q×f=42221GHz,谐振频率温度系数
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